半導體行業偏壓濕熱試驗箱的設計,符合實驗條件模擬了“85/85”穩態濕度壽命試驗(JESD22-A101)的失效機理,即在讓元件長時間承受電氣性stress高溫(85℃)、高濕(85%RH)環境條件,至少運行1000h,評估元件的電力和機械性性能。
相關標準:
AEC-Q101:汽車電子分立器件質量標準,適用于汽車電子元件的可靠性要求。
MIL-STD-750D:美國軍用標準,規定了軍用電子元件的可靠性試驗方法和程序。
GJB128:中國軍用標準,類似于MIL-STD-750D,適用于軍用電子元件的可靠性測試。
JESD22A-101:半導體工業協會頒布的標準,用于規范半導體器件的測試方法和程序。
技術參數:
試驗過程通電要求:
UHAST/AC無需加偏壓,HAST/H3TRB需要加偏壓,加偏壓分為持續加壓和循環加偏壓。
1、連續通電+偏壓:若發生偏置,Tj溫度大于環境溫度≈10℃并在器件散熱低于200 mW情況下使用直流偏置持續外加偏壓方式。
2、循環加偏壓:在被測器件上加直流電壓,頻率要合適,占空比要周期。若偏置配置造成Tj溫度大于環境溫度10℃、使用循環偏壓時,由于功耗加熱容易降低水分,妨礙水分有關失效機制。對對于大多數塑料封裝的微電路,用50%的占空比循環DUT偏置是最佳的?!? mm厚的封裝的循環應力周期應為≤2小時,<2 mm厚的封裝應為≤30分鐘。推薦1小時通和1小時斷的循環偏置。
如有半導體行業偏壓濕熱試驗箱的選型疑問,可以咨詢環儀儀器相關技術人員。